Inspekce polovodičů a solárních článků Vady v krystalové mřížce mohou způsobit emisi fotonů na nízké úrovni. Nízko úrovňová emise fotonů se odehrává právě v nejcitlivějším oblasti SWIR kamer vybavených termoelektricky chlazeným InGaAs nebo HgCdTe senzorem.

Tyto senzory se proto velmi dobře hodí pro analýzu vad a zajišťování kvality v polovodičovém průmyslu. Pozitivní výsledky těchto postupů se úspěšně přesouvají do ekonomické charakterizace nanotechnologických zařízení.

Jak se SWIR termokamery používají ve výrobě polovodičů a solárních článků?

Obraz SWIR kamer byl původně použit v telekomunikačním průmyslu, protože jsou citlivé na vlnovou délku 1550 nm světla typicky používanou v optických vláknech. V dnešní době se SWIR zobrazování používá v celé řadě aplikací ve výrobě polovodičů a solárních článků:

Mikroskopie emisí: fotonová mikroskopie emisí nebo elektroluminiscenční zobrazování, je relativně nová technika analýzy vad.
Analýza selhání: cílená analýza selhání a její uplatnění v mikroelektronice se obvykle provádí v pěti krocích: Nejprve je ověření poruchy, následované lokalizaci závady. Pak je připravena detekce vady a je určena povaha vady a nakonec je zahájeno vyšetřování jích hlavních příčin.
Kontrola solárních článků: SWIR zobrazování umožňuje pohled "skrz" křemíkový plátek a proto umožňuje kontrolu vad a poruch solárních článků, které nemohou být detekovány, a vizualizovány pomocí jiných metod.